Індуктивні датчики
Принцип роботи віддалено схожий на розглянуті вище ємнісні. Чутлива до тиску струмопровідна мембрана встановлюється на певній відстані від магнітопровода у формі букви Ш (на нього намотується котушка індуктивності).
При подачі напруги на котушку створюється магнітний потік. Він проходить як по сердечникові, так і через зазор, струмопровідну мембрану. Потік замикається, а так як у зазору проникність приблизно в 1000 разів менше, ніж у серцевини, то навіть мізерна його зміна призводить до пропорційних коливань значень індуктивності.
Оптоелектронні датчики
Вони просто знаходять тиск, володіють високою роздільною здатністю. У них висока чутливість і термостабільність. Працюють на основі інтерференції світла, використовують для вимірювання невеликих переміщень інтерферометр Фабрі-Перо. Такі електронні датчики тиску зустрічаються вкрай рідко, але є досить перспективними.
Основні компоненти приладу:
- Кристал оптичного перетворювача.
- Діафрагма.
- Світлодіод.
- Детектор (складається з трьох фотодіодів).
До двох фотодиодам прилаштовуються оптичні фільтри Фабі-Перо, у яких невелика різниця в товщині. Фільтри – це кремнієві дзеркала з відбивною лицьовою поверхнею. Вони покриті шаром оксиду кремнію, на поверхню наноситься тонкий шар алюмінію. Оптичний перетворювач дуже схожий з ємнісним датчиком тиску.
